[发明专利]流量传感器无效
| 申请号： | 01819360.9 | 申请日： | 2001-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN1476530A | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 上运天昭司;石仓义之;池信一;衣笠静一郎;田中秀一 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692;G01P5/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈瑞丰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 流量传感器(1)包括：基板(4)，它有侧向面对测量目标流体(2)所用通道(3)的前表面(4a)，以及通道形成部件(5)和平板(6)，它们在基板(4)两侧相对设置。用厚度约为50μm到150μm的不锈钢将基板(4)制成薄板状。在基板(4)的表面(4b)上形成电绝缘膜，所述基板与通道(3)侧向相对。所述电绝缘膜上形成测量流体(2)的流速(流率)用的温度检测传感器(7)、环境温度传感器(8)、电极垫片(9)和配线用的金属薄膜(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 | ||
【主权项】：
1.一种流量传感器，其特征在于，包括：薄板状的基板，它形成部分流体通道；以及形成于所述基板表面上的温度检测传感器，它与所述通道相对并包含发热体。
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