[发明专利]激光烧蚀无效
| 申请号： | 01819591.1 | 申请日： | 2001-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN1478007A | 公开（公告）日： | 2004-02-25 |
| 发明（设计）人： | 彼得·巴林 | 申请（专利权）人： | 米克麦克莫公司 |
| 主分类号： | B23K26/03 | 分类号： | B23K26/03 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 丹麦*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
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| 摘要： | 本发明提供一种利用超短激光脉冲现场测量激光烧蚀去除材料总量的方法。该方法依靠来自烧蚀激光的反向散射光提供的几何信息。反向散射激光的时间结构用于准确测量烧蚀区的深度，因为短激光脉冲的往返时间唯一地确定到被照射物体的距离。对于飞秒激光脉冲，可以获得几微米的深度分辨率。按照本发明，来自单个烧蚀脉冲的反向散射光成像提供导出烧蚀区上横截面形状所需的全部信息。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量激光辐照期间材料去除的方法，其中超短激光脉冲聚焦到样本区域，用于从所述区域去除材料，且辐射是从所述区域收集的，其特征是，-所述收集的辐射是来自所述超短激光脉冲的散射辐射，和-该方法还包括：根据所述散射辐射，确定所述样本区域的几何信息。
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