[发明专利]蚀刻设备组件的清洗方法无效
| 申请号： | 01820298.5 | 申请日： | 2001-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1479780A | 公开（公告）日： | 2004-03-03 |
| 发明（设计）人： | 达里尔·W·彼得斯;罗伯托·J·罗维托 | 申请（专利权）人： | 阿什兰公司 |
| 主分类号： | C11D1/835 | 分类号： | C11D1/835;C11D3/04;C11D7/04;C11D7/08;C11D7/26;B08B3/04;C23G5/036;H01L21/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于从蚀刻设备组件上去除蚀刻残留物的方法。所用组合物为含水酸性组合物，其中含有氟化物和极性有机溶剂。该组合物不含乙二醇和羟胺，且表面张力和粘度都较低。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 设备 组件 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于从蚀刻设备组件上去除蚀刻残留物的方法，该方法包括：将蚀刻设备组件放入水性洗液中，该水性洗液含有：A.一种酸性缓冲溶液，B.一种可以任意比溶于水的极性有机溶剂，和C.一种氟化物。直至蚀刻残留物被清除，所述洗液的pH值保持在大约3到6之间，且不含羟胺。
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