[发明专利]放射线敏感性折射率变化性组合物以及折射率变化法无效
| 申请号： | 01820390.6 | 申请日： | 2001-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN1479769A | 公开（公告）日： | 2004-03-03 |
| 发明（设计）人： | 西村功;别所信夫;熊野厚司;下川努;山田宪司 | 申请（专利权）人： | 捷时雅株式会社 |
| 主分类号： | C08L101/00 | 分类号： | C08L101/00;G03F7/004;G03F7/38;G03F7/36 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种放射线敏感性折射率变化性组合物，其中含有(A)分解性化合物、(B)折射率高于分解性化合物(A)的非分解性化合物、(C)放射线敏感性分解剂、以及(D)稳定剂。通过图案掩模，向该组合物照射放射线，由此使放射线照射部分中的上述(C)成分和(A)成分分解，在放射线照射部分与放射线未照射部分之间产生折射率差，从而形成折射率不同的图案。 | ||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 折射率 化性 组合 以及 变化 | ||
【主权项】：
1.一种放射线敏感性折射率变化性组合物，其特征在于，其中含有(A)分解性化合物、(B)折射率高于分解性化合物(A)的非分解性化合物、(C)放射线敏感性分解剂、以及(D)稳定剂。
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