[发明专利]具有增强的抽气能力的涡轮分子泵无效
| 申请号： | 01820836.3 | 申请日： | 2001-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1529794A | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | 彼得·赖默;丹尼斯·R·史密斯;杰伊·帕特尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京东方亿思专利代理有限责任公司 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一方面，本发明提供了一种包括真空处理腔和被放置在真空处理腔上的涡轮分子泵的真空处理系统。涡轮分子泵包括具有进气口和出气口的壳体、被设置于壳体内壁的定子、被设置于定子内的转子以及与转子共轴设置的马达，其中至少泵的第一级被扩大，而且除了相应的外壳上部之外泵的其它部件没有相应扩大。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 增强 能力 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1.一种真空处理系统，包括：(a)真空处理腔；以及(b)被设置在真空处理腔上的涡轮分子泵，该涡轮分子泵包括：(I)具有进气口和出气口的外壳；(II)具有多排沿径向向内延伸的定子叶片的定子；(III)与转子共轴设置的马达；和(IV)具有多排从转子外表面沿径向向外延伸的转子叶片的转子，多排转子叶片与多排定子叶片交替排列，其中临近进气口的至少一排转子叶片和至少一排定子叶片比其它排的转子叶片和定子叶片长。
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