[发明专利]用于离子注入器的污染物收集器捕集器有效
| 申请号： | 01820959.9 | 申请日： | 2001-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1501844A | 公开（公告）日： | 2004-06-02 |
| 发明（设计）人： | J·P·奎尔 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯技术公司 |
| 主分类号： | B04C3/00 | 分类号： | B04C3/00;B01D45/02;B01D45/16;H01J37/32;H01J49/24;B04C5/103;B04C5/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 蔡民军 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种用于腔室(14)的排空系统，其包括：用于从腔室排放气体和污染物的泵(12)，泵具有连接到排放管(34)的出口(32)；用于收集从排放腔室排放的污染物的收集器捕集器(42)，该收集器捕集器定位在泵出口(32)和排放管(34)之间并包括(I)一具有将气体和污染物引入其中的入口(56)的气体/污染物分离器(46)，所述分离器用来在物理上分离气体和污染物；(ii)一用于收集分离的污染物的收集器(48)，所述收集器(48)包括用于使得污染物从收集器抽出的抽出器连接器(70)；以及用于使得分离的气体排出气体/污染物分离器(46)的出口(72)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 污染物 收集 器捕集器 | ||
【主权项】：
1.一种用于收集从排放空腔排出的污染物的收集器捕集器(42)，其包括：(i)具有将气体和污染物引入其中的入口(56)的气体/污染物分离器(46)，所述分离器(46)用来在物理上分离气体和污染物；(ii)用于收集分离的污染物的污染物收集器(48)，所述收集器(48)包括从该收集器抽出污染物的抽出器连接器(70)；以及(iii)用于使得分离的气体排出气体/污染物分离器(46)的出口(72)。
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