[发明专利]低射束发散度的低能量射束的引出和减速有效
| 申请号： | 01821377.4 | 申请日： | 2001-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN1565043A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 约翰·H·凯勒 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备联合公司;K2科勒咨询有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 这项发明提供用来产生低能量离子束的离子光学方法和装置。该装置包括用来加速离子束的加速电极、在加速电极的下游用来阻止等离子束中的电子到达减速电极的减速电极。为了阻止热离子到达加速电极，减速电极被加上为给等离子束中的热离子提供位垒而选定的偏压。离子光学元件或许是作为电子相斥电极或作为磁性元件实现的。加速电极、减速电极或两者可能在横穿离子束的方向上被分段，以便定义能单独控制的电极段。离子光学装置可能是作为离子源引出系统或作为减速透镜系统实现的。 | ||
| 搜索关键词： | 束发 能量 引出 减速 | ||
【主权项】：
1.用来产生低能量离子束的离子光学装置，该离子束具有在最后的离子束能量下的等离子束，所述装置包括：用来加速离子束的加速电极；在所述加速电极下游用来使离子束减速的减速电极，所述的减速电极有为了阻止热离子到达所述的加速电极给等离子束中的热离子提供位垒而选定的电压；以及在所述的减速电极下游用来阻止等离子束中的电子到达所述减速电极的离子光学元件。
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