[发明专利]制造超低金属含量的氨的方法无效
| 申请号： | 01821474.6 | 申请日： | 2001-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN1483000A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·J·德肖维茨;瑞安·L·米尔斯;杰伊·F·施奈特;柯蒂斯·多弗;萨丹纳·马哈潘特拉;凯文·K·沃滋沃斯 | 申请（专利权）人： | 阿什兰公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过初始使液氨流过液相油分离系统(14)来纯化商品级的氨以用于制造半导体。这除去了绝大部分的杂质。经过滤的液氨然后流过蒸发器(18)，静止形成氨蒸汽并在氨蒸汽中夹带杂质。蒸汽流过蒸汽过滤系统(78，82)并随之流入鼓泡塔(94)。鼓泡塔(94)被设计使气泡足够小，其移动速率确保气泡中的任何颗粒有时间转移至气泡的表面并由此流过液相。所收集的蒸汽被随后导入蒸汽过滤器(104，106)中并被收集。如果希望得到无水氨，氨蒸汽在鼓泡塔的上游收集。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 金属 含量 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纯化液氨的方法，其包括：使所述液氨流过油分离器；使所述液氨由所述分离器导出并静止蒸发所述氨以形成氨蒸汽；使所述氨蒸汽流过鼓泡塔，该鼓泡塔包括氢氧化铵的饱和溶液；以及在流过所述氢氧化铵之后，收集所述氨蒸汽。
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