[发明专利]物理气相淀积靶组件和形成物理气相淀积靶组件的方法无效
| 申请号： | 01821540.8 | 申请日： | 2001-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN1494602A | 公开（公告）日： | 2004-05-05 |
| 发明（设计）人： | T·斯科特;J·李 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明包括一种用于形成物理气相淀积靶和支撑体的组件的方法。提供了一种物理气相淀积靶。该物理气相淀积靶具有小于10×10－6K－1的热膨胀系数。将该物理气相淀积靶连接到一支撑体上。该支撑体的热膨胀系数小于11×10－6K－1。本发明也包括一种包括物理气相淀积靶和连接到该物理气相淀积靶上的支撑体的组件。该支撑体包含碳纤维和铜。 | ||
| 搜索关键词： | 物理 气相淀积靶 组件 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于形成物理气相淀积靶和支撑体的组件的方法，其包括：提供具有小于10×10-6K-1的热膨胀系数的物理气相淀积靶；将该物理气相淀积靶连接到一支撑体上，该支撑体包含金属基质和分散于该金属基质中的碳纤维；其中该支撑体的热膨胀系数小于11×10-6K-1。
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