[发明专利]包含氧化和络合化合物的组合物无效
申请号: | 01821936.5 | 申请日: | 2001-12-21 |
公开(公告)号: | CN1486279A | 公开(公告)日: | 2004-03-31 |
发明(设计)人: | R·沃斯;P·莫滕斯;A·菲斯特;O·多尔;B·考尔比森 | 申请(专利权)人: | 埃什兰公司 |
主分类号: | C01B15/037 | 分类号: | C01B15/037;H01L21/306;A61K6/00;D21C9/08;C09K15/30 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 任宗华 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及一种包含氧化化合物和络合化合物的组合物,所述络合化合物具有下式的化学结构,其中R1、R2、R3和R4选自H和任何有机侧链。氧化化合物可以是水溶液形式。络合化合物用于络合金属离子。金属离子可以存在于溶液中或与溶液接触的外部介质中。本发明可以用于清洁半导体底材。 | ||
搜索关键词: | 包含 氧化 络合 化合物 组合 | ||
【主权项】:
1.包含氧化化合物和络合化合物水溶液的组合物,其中络合化合物具有如下式的化学结构:其中R1、R2、R3和R4选自H和任何有机侧链。
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