[发明专利]控制系统和控制装置有效
| 申请号： | 01822061.4 | 申请日： | 2001-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN1486452A | 公开（公告）日： | 2004-03-31 |
| 发明（设计）人： | 平山博文 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G05B11/32 | 分类号： | G05B11/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 李德山 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 将控制对象分成多个区来对各区进行控制，利用原来的控制使到达目标稳态温度的时刻一致，可有效地抑制在到达设定温度后的过越或下越的发生，在制造半导体元件的过程中可适当地控制晶片的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种控制系统，进行控制使检测出控制对象状态的检测值收敛于目标稳态值，其特征在于：包括：输入所述目标稳态值和检测值，生成使该检测值收敛于所述目标稳态值而进行变化的操作量，并对所述控制对象进行控制的主运算装置；向所述主运算装置输出所述检测值的主检测装置；输入该主检测装置的检测值和其他检测值，生成使该其他检测值收敛于该目标稳态值而进行变化的操作量，并对所述控制对象进行控制的从运算装置；和向所述从运算装置输出所述其他检测值的从检测装置。
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