[发明专利]故障分析装置无效
| 申请号： | 01822273.0 | 申请日： | 2001-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN1488149A | 公开（公告）日： | 2004-04-07 |
| 发明（设计）人： | 福田浩章 | 申请（专利权）人： | 株式会社艾德温特斯特 |
| 主分类号： | G11C29/00 | 分类号： | G11C29/00;G01R31/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;王忠忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可简化操作并缩短操作时间的故障分析装置。缩小数据取得部40从半导体试验装置100内的CFM120读出将详细逻辑数据缩小后的缩小逻辑数据，作为试验结果。主浏览作成部80根据该缩小逻辑数据，作成包含每个DUT的试验结果的一览显示的主浏览窗口，在显示装置94进行显示。该一览显示中，包含表示各DUT是合格还是故障的结果图象和故障位映像的缩小图象。 | ||
| 搜索关键词： | 故障 分析 装置 | ||
【主权项】：
1.一种故障分析装置，用于显示由半导体试验装置对多个半导体存储器进行试验的结果，它包括：试验结果取得单元，取得与所述多个半导体存储器对应的试验结果；一览图生成单元，生成将由所述试验结果取得单元获得的与所述多个半导体存储器对应的试验结果包含在一个画面内的一览图；显示单元，显示由所述一览图生成单元生成的所述一览图。
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