[发明专利]高流率的气体输送有效
| 申请号： | 01822970.0 | 申请日： | 2001-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN1620575A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | A·潘特;M·理查森;M·勒斯纳 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04;F17C9/02;F25J1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;梁永 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明针对一种以高流率输送液化压缩气的方法，包括：将液化压缩的高纯度半导体气送入贮存罐；将温度测量装置设置在压缩气贮存罐壁上；将至少一个加热装置放置在贮存罐附近；通过温度测量装置监测所产生的温度；将压力测量装置放置在贮存罐的出口处并监测贮存罐压力；调节加热装置的热量输出，以便加热贮存罐中的液化压缩气，从而控制贮存罐中液化压缩气的蒸发；以及控制来自贮存罐的气体的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 高流率 气体 输送 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制贮存罐中液化压缩气的温度的方法，包括：a.将液化压缩气送入贮存罐；b.将温度测量装置设置在所述压缩气贮存罐壁上；c.将至少一个加热装置放置在所述贮存罐附近；d.通过所述温度测量装置监测所述贮存罐内所述压缩气的温度；以及e.调节所述加热装置的输出以加热所述贮存罐中的所述液化压缩气。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于普莱克斯技术有限公司，未经普莱克斯技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01822970.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体激光器
- 下一篇：具有集成线圈的柔性振动膜
