[发明专利]利用毛细作用力在基体上形成微型图案的方法有效
| 申请号： | 01823662.6 | 申请日： | 2001-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN1633523A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李弘熙;徐甲亮;金然祥;刘弼珍 | 申请（专利权）人： | 米卢塔技术株式会社 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;C23C28/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 刘兴鹏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在使用带有预定图案结构的模具在基体上形成微型图案的方法中，制备一个模具，该模具带有包括凹陷部分和突起部分的预定图案结构。在基体上沉积聚合物材料。然后，控制模具的突起部分与聚合物材料接触，且利用聚合物材料的毛细作用力，使与模具的突出部分接触的聚合物材料渗入到其凹陷部分的敞空部分，从而去除与模具的突起部分接触的聚合物材料。之后，拆除该模具使基体的顶表面的部分暴露出来，从而在基体上形成聚合物微型图案。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 细作 用力 基体 形成 微型 图案 方法 | ||
【主权项】：
1、一种使用带有预定图案结构的模具在基体上形成微型图案的方法，该方法包括以下步骤：a)制备一个模具，该模具带有包括凹陷部分和突起部分的预定图案结构；b)在基体上沉积聚合物材料；c)使模具的突起部分与聚合物材料接触；d)利用聚合物材料的毛细作用力，使与模具的突出部分接触的聚合物材料渗入到其凹陷部分的敞空部分，从而去除与模具的突起部分接触的聚合物材料；和e)通过拆除该模具使基体的顶表面的部分暴露出来，从而在基体上形成聚合物微型图案。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于米卢塔技术株式会社，未经米卢塔技术株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/01823662.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可扩展标记语言元素和类型的全局命名方法
- 下一篇：银杏叶缓释制剂及其制备方法
