[发明专利]基板输送装置和基板输送方法

摘要

本发明提供一种可以廉价、可靠地输送安装有电子零件的基板、且不产生电子零件落下或基板破损等的基板输送装置。基板输送装置(10)包括可上下左右移动的臂主体(11)。在臂主体(11)上设置有多个吸附并支持玻璃基板(21)的上表面的玻璃基板用吸附衬垫(12)、对应于各电子零件(22)而配置在其上方、并吸附支持各电子零件(22)的上表面的多个电子零件用吸附衬垫(13)。各吸附衬垫(12、13)通过吸附系统与真空源连接。在各吸附衬垫(12、13)上设置有调整相对于臂主体11的相对位置的调整机构，根据玻璃基板(21)或电子零件(22)的尺寸和位置，可在臂主体(11)上调整其安装位置。在各吸附衬垫(13)上设有弹簧(15)，其吸收各吸附衬垫(13)接触电子零件(22)时所施加在电子零件(22)上的冲击。

主权项

1、一种基板输送装置，输送安装有电子零件的基板，其特征在于，包括：臂主体，安装在所述臂主体上、且从上侧支持作为输送对象的基板的第1支持机构，安装在所述臂主体上、且从上侧支持安装在上述基板上的电子零件的第2支持机构。