[发明专利]利用共轭光路量测二维位移量的方法有效
| 申请号： | 02100115.4 | 申请日： | 2002-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN1430043A | 公开（公告）日： | 2003-07-16 |
| 发明（设计）人： | 张中柱;高清芬;李世光 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03;G02B27/28;G02B27/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戴元毅 |
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| 摘要： | 一种利用共轭光路量测二维位移量的方法，包括下列步骤：发自一光源的一光束，入射一绕射单元后，产生至少两束第一绕射光；接着，上述第一绕射光经由波前重现光学组件(wavefrontreconstructionoptics)作用后，循原光路径折回，再入射于上述绕射单元，产生至少两束第二绕射光；接着，上述第二绕射光经由干涉光学组件作用后，产生至少两束干涉光；接着，上述干涉光经由光干涉解相技术处理后，即可获得二维运动中两个线性独立方向上的位移量。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 共轭 光路量测 二维 位移 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用共轭光路量测二维位移量的方法，其特征在于，至少包括下列步骤：自一光源发射一第一入射光；上述第一入射光入射一绕射单元后，产生多束第一绕射光；选择两束同阶的上述第一绕射光，此两束第一绕射光与上述第一入射光轴对称；藉由波前重现光学组件，将上述的两束第一绕射光分别循原光路径再入射上述绕射单元，而形成两组共轭光路；上述第一绕射光循原光路径再入射上述绕射单元后，产生多束第二绕射光；选择两对同阶的上述第二绕射光，其中第一对第二绕射光与上述第一入射光轴对称，第二对第二绕射光亦与上述第一入射光轴对称；上述第一对第二绕射光藉由一干涉光学组件产生一第一干涉光，第二对第二绕射光藉由另一干涉光学组件产生一第二干涉光：以及上述第一与第二干涉光，分别经由光干涉解相技术处理，获得上述绕射单元于二维方向的两个线性独立位移量。
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