[发明专利]薄膜型声波元件及其制造方法无效
| 申请号： | 02101657.7 | 申请日： | 2002-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN1433147A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 蔡淑慧;张静宜;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 亚太优势微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱黎光,张占榜 |
| 地址： | 台湾省台北市 信义*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种薄膜型声波元件及其制造方法，其特征是利用压电层材料的晶向性配合不同的电极电场驱动方向来制作不同效能(FigureofMerit，FOM)的声波元件，并可藉由结合体声波元件与表面声波元件，以提供不同规格下元件最佳化的设计及制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 元件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜型声波元件的制造方法，其特征是：利用驱动电极图案设计改变波传方向与薄膜晶向夹角以获得元件特性最佳化的制造方法。
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