[发明专利]具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管及其制造方法

摘要

一种具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管(LightEmittingDiode；LED)及其制造方法，是利用蚀刻或研磨方法，以在发光二极管的外延结构表面形成螺旋形的凹槽。因此，在后续形成具有两种不同电性的金属电极间，亦形成螺旋平行结构的分布。利用本发明具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管，可使注入电流平均分布于两种电性的电极间，具有增进电流分散(CurrentSpreading)与均匀发光区的优点。另外，产生的光子若以大角度放射到发光二极管的表面，将可经由蚀刻螺旋形图案后所暴露出的凹槽侧边逸出，可增进光子的逸出效率(ExtractionEfficiency)。

主权项

1.一种具螺旋布置金属电极的氮化物发光二极管，至少包括：一基板；一外延结构位于该基板上，其中该外延结构至少包括：位于该基板上的一第一次堆叠结构；以及以一螺旋状分布于该第一次堆叠结构上的一第二次堆叠结构，其中该第二次堆叠结构中具有一凹槽，且该凹槽暴露出该第二次堆叠结构的一侧面与该第一次堆叠结构的一部分表面；一第一电性金属电极位于该凹槽中，并沿该第二次堆叠结构以螺旋状分布于第一次堆叠结构的部分表面上，其中该第一电性金属电极并与一第一电性金属电极垫连接；以及一第二电性欧姆电极位于该第二次堆叠结构上，其中该第二电性与第一电性相异，且该第二电性欧姆电极至少包括：一第二电性透明电极位于该第二次堆叠结构上；以及一第二电性金属电极位于该第二电性透明电极上，且该第二电性金属电极与一第二电性金属电极垫连接。