[发明专利]渗碳方法和渗碳设备有效
| 申请号： | 02102026.4 | 申请日： | 2002-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN1376810A | 公开（公告）日： | 2002-10-30 |
| 发明（设计）人： | 河田一喜;佐藤初男;浅井茂太;关谷庆之 | 申请（专利权）人： | 东方工程公司 |
| 主分类号： | C23C8/22 | 分类号： | C23C8/22 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 龙传红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种经济的渗碳方法和渗碳设备,即使渗碳条件与正常情况不同,也能象正常情况一样高质量并且高重复性地进行渗碳处理。一种用于在13－4,000Pa的压力下在含有不大于30体积%的气氛气体中进行渗碳的渗碳设备,包含一个容纳被处理物体(4)的渗碳室(3);一个用于测量渗碳过程中在渗碳室(3)中的气氛气体的氧浓度的氧传感器(20);和一个用于根据氧传感器(20)的测量结果调节渗碳室(3)中的气氛气体组成的质量流量控制器(5)。 | ||
| 搜索关键词： | 渗碳 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种在13-4,000Pa压力下在含有不大于30体积％一氧化碳的气氛气体中进行渗碳的渗碳方法，其中，在分析气氛气体组成并根据分析结果调节温度、压力和气氛气体组成中的至少一项的同时进行渗碳。
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