[发明专利]表面上形成微细突起的陶瓷部件及其制造方法无效
| 申请号： | 02103132.0 | 申请日： | 2002-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN1369465A | 公开（公告）日： | 2002-09-18 |
| 发明（设计）人： | 河合和秀;乌井骏藏;高桥真人;设乐広明;德岳文夫;市乌雅彦;铃木崇;松山丰和;上本英雄 | 申请（专利权）人： | 东芝陶磁股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/91 | 分类号： | C04B41/91;H01L21/311;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄健,刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够控制并防止气体释放性,对附着堆积于表面上的其他物质具优良固定效果,在薄膜形成装置中使用时,不易发生其他物质粒子剥离的陶瓷部件及其制造方法。本发明的陶瓷部件是在构成纯度95重量%以上的致密质陶瓷基材的表面或者其附近的结晶粒子表面形成直径比其结晶粒径小的多个突起部分,或者以纯度为95重量%以上的致密质陶瓷为基材,且表面层为含有直径为形成基材的陶瓷的平均粒子粒径的0.5～50倍,深度方向有大直径部分的微细孔的凹凸构造的表面凹凸化的陶瓷部件。该陶瓷部件通过在酸性蚀刻液中对纯度95重量%以上、超过理论密度90%的致密质陶瓷基材的表面作侵蚀处理,在基材表面或其附近存在的陶瓷粒子的表面上形成多个突起状部分来制造。 | ||
| 搜索关键词： | 表面上 形成 微细 突起 陶瓷 部件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种陶瓷部件，其特征在于，在构成纯度95重量％以上的致密质陶瓷基材的表面或者其附近的结晶粒子的表面上，形成有直径比该结晶粒子粒径更小的多个突起部分。
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