[发明专利]显影液制造装置及显影液制造方法有效
| 申请号： | 02103475.3 | 申请日： | 2002-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN1373393A | 公开（公告）日： | 2002-10-09 |
| 发明（设计）人： | 中川俊元;菊川诚;小川修;森田悟;宝山隆博 | 申请（专利权）人： | 长濑产业株式会社;株式会社平间理化研究所;长濑CMS科学技术株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供显影液制造装置及方法,该装置备有供给且搅拌显影原液和纯水,调制碱系显影液的调制槽;测定调制槽内的碱系显影液的量的第一液量测定装置;测定调制槽内的碱系显影液的碱浓度的第一碱浓度测定装置;根据第一液量测定装置和第一碱浓度测定装置的测定值,调整调制槽内的碱系显影液的量的第一液量控制装置;以及根据第一液量测定装置和第一碱浓度测定装置的测定值,调整供给调制槽的显影原液的供给量及纯水的供给量这两者中的至少一者的液供给控制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影液制造装置，通过管路连接到形成进行了精细加工的电子电路的加工设备上，制造该加工设备中使用的碱系显影液，其特征在于该装置备有：供给且搅拌显影原液和纯水，调制上述碱系显影液的调制槽；测定上述调制槽内的上述碱系显影液的量的第一液量测定装置；测定上述调制槽内的上述碱系显影液的碱浓度的第一碱浓度测定装置；根据上述第一液量测定装置的测定值和上述第一碱浓度测定装置的测定值，调整上述调制槽内的上述碱系显影液的量的第一液量控制装置；以及根据上述第一液量测定装置的测定值和上述第一碱浓度测定装置的测定值，调整供给上述调制槽的上述显影原液的供给量及上述纯水的供给量这两者中的至少一者的液供给控制装置。
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