[发明专利]主动式互补金氧半导体像素装置及其制造方法有效
申请号: | 02103515.6 | 申请日: | 2002-02-05 |
公开(公告)号: | CN1437265A | 公开(公告)日: | 2003-08-20 |
发明(设计)人: | 季明华 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/14 | 分类号: | H01L27/14;H01L27/092;H01L21/82 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 台湾省新竹科*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种主动式互补金氧半导体像素装置,包括:一基底、一浮接闸极层及一控制闸极层。其中,基底具有一井区以及位于井区中之第一与第二掺杂区,井区、第一及第二掺杂区均露出基底表面且第一及第二掺杂区相互分离,井区具有一第一极性而第一及第二掺杂区具有一第二极性。浮接闸极层设于井区与第二掺杂区在基底表面之交界处上方,并且与井区及第二掺杂区绝缘而与第一掺杂区电性接触。控制闸极层设于浮接闸极层上方并且与浮接闸极层绝缘。 | ||
搜索关键词: | 主动 互补 半导体 像素 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种主动式互补金氧半导体像素装置,其特征在于包括:一基底,具有一井区以及位于该井区中之一第一与第二掺杂区,该井区、第一及第二掺杂区均露出该基底表面且第一及第二掺杂区相互分离,其中该井区具有一第一极性而该第一及第二掺杂区具有一第二极性;一浮接闸极层,设于该井区与第二掺杂区在该基底表面之交界处上方,并且与该井区及第二掺杂区绝缘而与该第一掺杂区电性接触;以及一控制闸极层,设于该浮接闸极层上方并且与该浮接闸极层绝缘。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的