[发明专利]用于阵列式集成电路光刻系统的版图编码方法无效
申请号: | 02104178.4 | 申请日: | 2002-03-15 |
公开(公告)号: | CN1369859A | 公开(公告)日: | 2002-09-18 |
发明(设计)人: | 徐端颐;蒋培军;齐国生;钱坤;范晓冬 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G06T9/00 | 分类号: | G06T9/00;H01L21/00;G03F7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种阵列式集成电路光刻系统的版图编码方法,属于阵列式集成电路光刻系统中线阵光源扫描所需版图的编码技术领域,其特征在于对于一个大小为m×n个象素的二色(黑白)版图,当扫描装置使用的是p×1的线阵光源时,采用按扫描宽度逐组逐列编码的方法把所有数据按行编号均匀分为m/p组,每p行一组。每次对一组即p行数据进行逐列编码直至完毕。从而解决了采用线阵光源的阵列式集成电路光刻系统的版图编码问题。 | ||
搜索关键词: | 用于 阵列 集成电路 光刻 系统 版图 编码 方法 | ||
【主权项】:
1.一种阵列式集成电路光刻系统的版图编码方法,含有逐行编码的步骤。本发明的特征在于:对于一个大小为m×n个象素的二色黑白版图,当扫描装置使用的是p×1的线阵光源时,采用按扫描宽度逐组逐列编码的方法:把所有数据按行编号均匀分为m/p组,每p行一组,每次对一组即p行数据进行逐列编码直至完毕。
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