[发明专利]用于阵列式集成电路光刻系统的版图编码方法无效

专利信息
申请号: 02104178.4 申请日: 2002-03-15
公开(公告)号: CN1369859A 公开(公告)日: 2002-09-18
发明(设计)人: 徐端颐;蒋培军;齐国生;钱坤;范晓冬 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: G06T9/00 分类号: G06T9/00;H01L21/00;G03F7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100084 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种阵列式集成电路光刻系统的版图编码方法,属于阵列式集成电路光刻系统中线阵光源扫描所需版图的编码技术领域,其特征在于对于一个大小为m×n个象素的二色(黑白)版图,当扫描装置使用的是p×1的线阵光源时,采用按扫描宽度逐组逐列编码的方法把所有数据按行编号均匀分为m/p组,每p行一组。每次对一组即p行数据进行逐列编码直至完毕。从而解决了采用线阵光源的阵列式集成电路光刻系统的版图编码问题。
搜索关键词: 用于 阵列 集成电路 光刻 系统 版图 编码 方法
【主权项】:
1.一种阵列式集成电路光刻系统的版图编码方法,含有逐行编码的步骤。本发明的特征在于:对于一个大小为m×n个象素的二色黑白版图,当扫描装置使用的是p×1的线阵光源时,采用按扫描宽度逐组逐列编码的方法:把所有数据按行编号均匀分为m/p组,每p行一组,每次对一组即p行数据进行逐列编码直至完毕。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学,未经清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/02104178.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code