[发明专利]可装设数块光罩的光罩支架及微影曝光系统

摘要

本发明公开了一种可装设数块光罩的光罩支架及微影曝光系统。一种可装设数块光罩的光罩支架，具有复数个窗口，可装设复数个光罩，以进行微影曝光程序，并在晶圆上定义由这些光罩所组合成的曝光结合区域，其中在每一个光罩的侧边上具有微调装置，可在装设光罩于窗口中时，调整光罩的位置与角度，而使复数个光罩彼此间完全的平行。如此，在使用微影曝光系统时，可移动可装设数块光罩的光罩支架，将要进行曝光的光罩移动至曝光光源下方，以进行微影曝光程序而在晶圆表面，形成由这些光罩任意组合的图案。

主权项

1、一种可装设数块光罩的光罩支架，具有复数个窗口，用以装设复数个光罩，以便进行微影曝光程序，可在晶圆上定义由该复数个光罩所组合的曝光图案，其中在每一个该光罩的侧边上具有微调装置，可在装设该光罩于该窗口中时，调整该光罩的位置与角度，而使该复数个光罩彼此间完全的平行。