[发明专利]利用微影蚀刻制程制作喷墨式打印头的喷孔片的方法无效
| 申请号： | 02107870.X | 申请日： | 2002-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1446691A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 林刘恭;杨明勋;杨长谋;陈贵铨 | 申请（专利权）人： | 飞赫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈红,潘培坤 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，是先在一硅芯片表面上形成一第一薄膜，其中第一薄膜内包含有一第一开口，位于硅芯片的一个致动组件上方。然后，依序在第一薄膜上形成一第二薄膜以及一光阻层，其中光阻层内包含有一第二开口，位于该第一开口上方。接着，进行蚀刻制程以去除第二开口下方的第二薄膜，进而在第二薄膜内形成一孔洞，可使第一开口与孔洞连通。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 蚀刻 制作 喷墨式 打印头 喷孔片 方法 | ||
【主权项】：
1.一种喷墨式打印头的喷孔片的制作方法，包括下列步骤：提供一硅芯片，其包含有至少一致动组件；在该硅芯片表面上形成一第一薄膜，该第一薄膜内包含有一第一开口，位于该致动组件上方；在该第一薄膜上覆盖一第二薄膜；在该第二薄膜上形成一光阻层，该光阻层内包含有一第二开口，位于该第一开口上方；以及进行蚀刻制程，将该光阻层的开口下方的该第二薄膜去除，以在该第二薄膜内形成一孔洞，以使该第一开口与该孔洞连通。
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