[发明专利]集成电路制造的推拉双向式派工方法无效
| 申请号： | 02108174.3 | 申请日： | 2002-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1449011A | 公开（公告）日： | 2003-10-15 |
| 发明（设计）人： | 方亨利;陈忠信 | 申请（专利权）人： | 华邦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/70 | 分类号： | H01L21/70;H01L21/00 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 潘培坤,陈红 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集成电路制造的推拉双向式派工方法，用于决定芯片批次在每一工作站的排货次序。先定义芯片批次的优先次序，接着进行集成电路制造的推拉双向式派工方法，执行数个推货(Push)步骤与拉货(Pull)步骤。其中，推货步骤是不管下游的制作过程阶段或工作站的拥挤或延迟状况，直接由上游来安排推货、另外，拉货步骤是考虑下游的制作过程阶段或工作站的缺货需求，再由制作过程上游来安排推货。接着，再依原先芯片批次的优先次序高低来进行派工即可。利用此集成电路制造的推拉双向式派工方法，具有提高机台设备利用性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 制造 推拉 双向 式派工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路制造的推拉双向式派工方法，当具有多个优先次序的多芯片批次于一制造中利用多个机台以进行制造，用于决定这些芯片批次于多个制造单元的排货次序，其特征在于，该制造是依序由这些制造单元所构成，该集成电路制造的推拉双向式派工方法至少包括：进行一第一推货步骤，使具一强制执行次序的一第一芯片批次派工于每一这些制造单元中，其中该第一芯片批次是包括于这些芯片批次；进行一拉货步骤，若这些制造单元的一第一制造单元所制造的这些芯片批次少于该一数程单元的一满载芯片处理量，而具有一第一芯片缺额，则使一第二芯片批次派工于该第一制造单元之前的一第二制造单元中，其中该第二芯片批次是包括于这些芯片批次；进行一第二推货步骤，依照这些芯片批次的这些优先次序，将这些芯片批次派工于未达该满载芯片处理量的每一这些制造单元中。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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