[发明专利]静电微型继电器、无线电器件和测量器件及触点切换方法

摘要

形成在固定基片上的信号线布置在相同直线上。可动基片经提供在两个位置处的梁部分弹性地支撑在固定基片上,这两个位置关于对中在其上的可动触点彼此点对称。至少相对着信号线的部分从可动基片除去。可动触点弹性支撑在与在其上布置信号线的直线正交并且不面对着信号线的两个点处。一对突出部分形成在这样的位置处在闭合触点之后,如果一个电压施加在固定电极与可动电极之间而没有突出部分,则在固定触点与可动触点的接触之后,以关于其上对中可动触点的点对称方式,固定基片和可动基片彼此接触。这样,能够提供这种静电微型继电器具有容易以低成本制造的简单和小尺寸结构,并且在关于适当触点打开/分离力的高频特性方面优良。

主权项

1.一种静电微型继电器，根据一个静电吸引力驱动一个可动基片，该静电吸引力是在把一个电压施加在一个形成在一个固定基片上的固定电极、与形成在经一个梁部分支撑在所述固定基片上的所述可动基片上的可动电极之间的情况下产生的，并且电气切换形成在所述固定基片上的一个固定触点、和形成在所述可动基片上的一个可动触点，其特征在于一个凸块提供在所述固定基片或所述可动基片的至少一个上，并且所述凸块提供在这样一个位置处：当在所述固定电极与所述可动电极之间施加电压而不提供所述凸块时，所述固定触点与所述可动触点相接触，并且然后所述固定基片和所述可动基片彼此邻接。