[发明专利]双辉放电无氢渗碳共渗装置及工艺

摘要

双辉放电无氢渗碳共渗装置及工艺，属于金属材料表面改性技术范畴，具体来讲是以制成特殊形状的高纯度石墨作为源极，利用辉光放电溅射原理及空芯阴极放电效应，在钢铁材料特别是钛及钛合金表面形成均匀的渗碳层，分别通入氩气、氮气、氩气和氮气的混合气体可实现，无氢渗碳、渗氮及碳氮共渗，通入氢气和氩气的混合气还可以在硅、硬度合金等基片上合成类金刚石和金刚石薄膜，具有渗速快，渗层均匀，设备简单，成本低等优点。

主权项

1、一种双辉放电无氢渗碳共渗装置其特征在于，是在真空度1×10-2～5×10-2Pa并能充入气体介质的真空容器(3)内，设有石墨源极(1)、阳极(2)，可以转动的工件托盘系统，抽气系统、供气和测温系统、送气系统和转动的工件托盘系统，转动的工件托盘系统由工件托盘(8)、欲渗工件(7)和转动系统(11组成)，抽气系统由机械泵(10)和扩散泵(9)组成，测温系统由测温仪(6)和观察窗(5)组成，送气系统由供气源(4)和进气口(14)组成，欲渗工件(7)置于阴极托盘(8)上，石墨源极(1)置于欲渗工件(7)的正上方，阳极(2)位于石墨源极的上方，在阳极(2)和欲渗工件(7)之间连接一个可调的0～1200V直流负偏压电源(12)，在阳极(2)和石墨源极(1)之间连接一个可调的0～1200V直流电源(13)，石墨源极(1)是由不同形状、尺寸的高纯度石墨制成，石墨源极(1)和欲渗工件(7)之间保持一定的距离。