[发明专利]长程面形仪

摘要

一种长程面形仪，它主要由半导体激光器、光纤、位相板、反射镜、分光镜、五角棱镜、反射镜、傅立叶透镜、面阵CCD和参考反射镜组成，半导体激光器发出的激光束经光纤准直投射至一块位相板上，其衍射光束由反射镜折转形成基准光束被分光镜分为两路：一路经五角棱镜折转90°投射至被测表面，被反射回来的探测光束再经五角棱镜、分光镜、反射镜投射至傅立叶变换透镜，从而在位于FT透镜后焦面的面阵CCD上形成测量光斑，另一路基准光束经由参考反射镜、反射镜直接射至傅立叶透镜，并在面阵CCD上形成参考光斑。

主权项

1.一种长程面形仪，其特征在于它采用了一种基于衍射准直的f-θ系统，主要由半导体激光器(1)、光纤(2)、位相板(3)、反射镜(RP1)、分光镜(BS)、五角棱镜(PP)、反射镜(RP2)、傅立叶透镜(FT)、面阵CCD和参考反射镜(RP)组成，其光束的运动过程是：半导体激光器(1)发出的激光束经光纤(2)准直投射至一块位相板(3)上，其衍射光束由反射镜(RP1)折转形成基准光束被分光镜(BS)分为两路：一路经五角棱镜(PP)折转90°投射至被测表面，被反射回来的探测光束再经五角棱镜(PP)、分光镜(BS)、反射镜(RP2)投射至傅立叶变换透镜(FT)，从而在位于FT透镜后焦面的面阵CCD上形成测量光斑，另一路基准光束经由参考反射镜(RP)、反射镜(RP2)直接射至傅立叶透镜(FT)，并在面阵CCD上形成参考光斑。