[发明专利]采用空气槽渐变输出波导的通带平坦化波分复用器件

摘要

本发明公开了一种采用空气槽渐变输出波导的通带平坦化波分复用器件。在波分复用器件输出波导的入口采用锥形结构的渐变波导，在相邻的波导之间引入空气槽。本发明具有的有益的效果：由于采用锥形结构的渐变波导，同时在相邻的波导之间引入空气槽，通过调整空气槽的宽度，锥形波导的入口宽度，收敛形状等参数的优化，和传统的输出相比，本发明能够用很小的功率代价，使衍射蚀刻光栅具有宽通带、极低串拢等显著改进的频谱响应特性。

主权项

1.采用空气槽渐变输出波导的通带平坦化波分复用器件，它包括：输入波导(1)、自由传播区(2)、衍射光栅(3)、输出波导(4)，其特征在于：在输出波导(4)的入口(5)采用锥形结构的渐变波导(11)，在相邻的波导之间引入空气槽(12)；1)在输出波导(4)的入口(5)采用锥形结构的渐变波导(11)是由入口宽度W、出口宽度w和收敛函数曲线决定：出口宽度w和入口宽度W为一个固定值，出口宽度w和器件对应的入射波导宽度相同，入口宽度W满足：w≤W≤Wc-amin，单位为微米，其中Wc为器件相邻信道输出间距，amin为工艺决定的空气槽最小宽度；线性收敛函数曲线的收敛角度θ满足：$\theta =\arctan \left(\frac{W-w}{2l}\right),$ 其中，l为锥形波导长度；2)空气槽(12)的宽度a满足：amin≤a≤Wc-W，单位为微米，其中amin为工艺可实现的空气槽最小宽度，空气槽(12)的长度b必须满足消除相邻波导间的耦合效应。