[发明专利]光纤端面微细加工方法无效
| 申请号： | 02111917.1 | 申请日： | 2002-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1139824C | 公开（公告）日： | 2004-02-25 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;贾书海;王宏坤 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;C03C25/68 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 20003*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 光纤端面微细加工方法属于微细加工技术领域。本发明具体方法如下：(1)在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀光刻胶层；(2)将光纤端面前烘；(3)将光纤端面导入带自对准的掩膜板微孔，对光刻胶进行曝光，显影，并进行后烘；(4)以光刻胶为掩膜对光纤端面进行刻蚀，得到所需的光纤端面形状和结构。本发明采用带自对准的掩膜板解决了光纤端面加工技术难，对准程度低的问题，实现对光纤端面进行任意形状和结构的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤 端面 微细 加工 方法 | ||
【主权项】：
1、一种光纤端面微细加工方法，其特征在于具体方法如下：(1)在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀光刻胶层；(2)将光纤端面前烘；(3)将光纤端面导入带自对准的掩膜板微孔，对光刻胶进行曝光，显影，并进行后烘；(4)以光刻胶为掩膜对光纤端面进行刻蚀，得到所需的光纤端面形状和结构。
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