[发明专利]电容型湿度测量装置有效
| 申请号： | 02112520.1 | 申请日： | 2002-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN1164933C | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 秦明;黄庆安;张中平 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 21001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 电容型湿度测量装置是一种与CMOS工艺兼容的由电容型湿度传感器组成的测量装置，该装置电容的一端接信号输入端，另一端接湿度敏感电容，电容与湿度敏感电容的连接点接由MOS管组成的选通放大器的输入端，输出电容的一端接地，另一端为该装置的信号输出端，以上电路均集成在一块芯片上；湿度敏感电容由上导电板、下导电板组成，在上导电板与下导电板之间留有空隙，并由支撑材料隔开，在上导电板上设有许多小孔；湿度敏感电容中，在下导电板的下面设有一加热电阻，在下导电板与加热电阻之间设有隔离层；采用标准的CMOS工艺将湿度敏感电容(Cx)与由MOS管组成的选通放大电路集成在一块硅芯片上。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 湿度 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电容型湿度测量装置，其特征在于该装置由湿度敏感电容(Cx)、电容(Cref)、MOS管(M1、M2、，M3、M4、，M5)及电阻(R)、输出电容(C0)组成，电容(Cref)的一端接信号输入端(Vin)，另一端接湿度敏感电容(Cx)，电容(Cref)与湿度敏感电容(Cx)的连接点接由MOS管(M1、M2、，M3、M4、，M5)组成的选通放大器的输入端，输出电容(C0)的一端接地，另一端为该装置的信号输出端，以上电路均集成在一块芯片上。
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