[发明专利]一种无衍射光空间直线度基准的发生装置

摘要

无衍射光空间直线度基准的发生装置，包括依次位于同一光路上的激光器、光学调整器和无衍射光发生器，光学调整器光学调整器必须保证光束的发散条件：理论比值ω(R)/ω0≥10，如小焦距透镜或由焦距大于－100mm的透镜组和精密位置调整器构成。上述无衍射光发生器可以为锥镜、环缝与透镜组件、计算机全息片或二元光学组件。本发明可在激光器与光学调整器之间设有扩束镜和空间滤波器。本发明将无衍射光理论和技术应用于直线度误差测量技术，很好地解决了现有中、长距离直线度误差测量因直线度基准误差大而产生的精度低的难题，并且具有结构简单、制造简便、成本低廉和稳定性好等优点。

主权项

1.一种无衍射光空间直线度基准的发生装置，包括激光器，其特征在于：该装置还包括光学调整器(2)和无衍射光发生器(4)，所述激光器(1)、光学调整器(2)和无衍射光发生器(4)依次位于同一光路上，光学调整器(2)为小焦距透镜或由透镜组和精密位置调整器构成，并满足理论比值ωR/ω0≥10，其中，ωR为距离无衍射光发生器处的高斯波半径，ω0为激光束束腰半径。