[发明专利]氧化物发光薄膜的制备方法

摘要

本发明属于发光薄膜的制备方法。该发光薄膜的化学表达式为：R_2(1-x)O₃∶A_2x其中0＜x≤0.05；RE＝Y，La，Gd，Lu，Ga，In；A＝Eu，Sm，Tm，Tb，Dy，Er。选择金属氧化物为主要原料，选择聚乙二醇为防止金属离子的团聚的表面活性剂，选择柠檬酸为金属离子的络合剂，同时利用柠檬酸、聚乙二醇的量来调节镀膜溶液的粘度，使薄膜的厚度控制在理想的范围之内。选择石英片、单晶硅片为基底，采用浸渍的方法镀膜。将得到的薄膜干燥2小时，然后放于程序升温炉中经升温、烧结至900-1000℃，制备的发光薄膜粒子大小均匀在10-50nm，致密无开裂。工艺设备简单、原料易得、成本低且无毒。

主权项

1.一种发光薄膜的制备方法，其特征在于选用纯度为99.99％的Eu2O3，Sm2O3，Dy2O3，Er2O3，Y2O3，Tm2O3，La2O3，Gd2O3，Lu2O3，Tb4O7，Ga2O3，In2O3其中的一种或两种氧化物为起始原料；溶剂为水和乙醇；HNO3或HCl用于溶解氧化物原料；络合剂为分析纯的柠檬酸；表面活性剂为聚乙二醇，分子量＝10000；所制备发光薄膜的化学表达式为：R2(1-x)O3∶A2x，其中0＜x≤0.05；R＝Y，La，Gd，Lu，Ga或In；A＝Eu，Sm，Tm，Tb，Dy或Er。制备过程：按化学计量将一种基质氧化物R2O3和一种激活剂氧化物A2O3原料用硝酸或盐酸溶解，加入含有柠檬酸的水和乙醇的混合溶液H2O/C2H5OH体积比为1∶9，保持柠檬酸与金属阳离子的摩尔比为2∶1，再加入2-6g聚乙二醇/mol R2O3，搅拌使溶液混合均匀，选择石英片或单晶硅片为基底，采用浸渍的方法镀膜；将得到的薄膜放于100-120℃烘箱中干燥2小时，然后放于程序升温炉中以60-70℃/h的升温速度升温至500℃并保留3小时，再以100-300℃/h的升温速度烧结至温度900-1000℃，或最终在体积比5H2％+95N2％的还原气氛下于900-1000℃烧结4小时形成发光薄膜。