[发明专利]磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管无效
| 申请号： | 02117379.6 | 申请日： | 2002-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1459873A | 公开（公告）日： | 2003-12-03 |
| 发明（设计）人： | 石瑞英;刘训春 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子中心 |
| 主分类号： | H01L29/737 | 分类号： | H01L29/737 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管，其中包括：一衬底；该衬底上生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的N型子收集区；该子收集区上是轻掺杂的N型磷化铟收集区；该收集区生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的P型作为基区，基区上面是磷化铟发射区；最上面一层是作欧姆接触层。 | ||
| 搜索关键词： | 磷化 铟镓砷锑 铟双异质结 双极晶体管 | ||
【主权项】：
1、一种磷化铟基磷化铟/铟镓砷锑/磷化铟双异质结双极晶体管，其特征在于，其中包括：一衬底；该衬底上生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的N型子收集区；该子收集区上是轻掺杂的N型磷化铟收集区；该收集区生长有一层与磷化铟晶格匹配的重掺杂的P型作为基区，基区上面是磷化铟发射区；最上面一层是作欧姆接触层。
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