[发明专利]在有机发光装置的制造中可重复使用的物质量传感器有效
| 申请号： | 02118053.9 | 申请日： | 2002-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN1382827A | 公开（公告）日： | 2002-12-04 |
| 发明（设计）人： | M·A·马库斯;A·L·赫里钦;S·A·范;斯利克 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/54;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及在制造有机发光装置中对有机材料的沉积进行控制的方法,所述方法包括在沉积区沉积有机材料以形成有机发光装置的层;设置可移动的传感器,当所述传感器移动到沉积区中并在沉积步骤中被覆盖时提供表示形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度的信号。所述方法还包括根据所述信号控制有机材料的沉积以控制形成所述层的有机材料的沉积速率和厚度;将可移动的传感器从沉积区移动到清洁位置;以及去除可移动的传感器上的有机材料以使可移动的传感器能够重复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光 装置 制造 重复使用 物质 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种用于将蒸发的或升华的有机层沉积在结构件上以形成有机发光装置的一部分的方法，所述方法包括下列步骤：(a)在沉积区沉积有机材料以形成有机发光装置的层；(b)设置可移动的传感器，当所述传感器移动到沉积区中并在沉积步骤中被覆盖时会提供表示形成所述层的有机材料的厚度的信号；(c)根据所述信号控制有机材料的沉积以控制沉积速率和形成在结构件上的有机层的厚度；(d)将可移动的传感器从沉积区移动到清洁位置；以及(e)去除可移动的传感器上的有机材料以使可移动的传感器能够重复使用。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于伊斯曼柯达公司，未经伊斯曼柯达公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02118053.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
