[发明专利]排气小车式连续排气处理中不合格屏板的检测方法无效
| 申请号： | 02118665.0 | 申请日： | 2002-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1383176A | 公开（公告）日： | 2002-12-04 |
| 发明（设计）人： | 木曾田欣弥 | 申请（专利权）人： | 中外炉工业株式会社 |
| 主分类号： | H01J9/42 | 分类号： | H01J9/42;H01J9/385;C03B23/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 刘立平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供多只中空屏板搭载在排气小车进行连续排气处理时,在排气过程中确定不合格的屏板,其余屏板进行排气,以防止生产效率降低的不合格屏板的检测方法。至少在搭载排气装置的排气小车(10)中保持多只屏板P2,各屏板顶管Pa与排气小车的排气头(18)相接,并且上述排气头与排气装置用有各自开关阀(20)的排气管(19)通过排气集管(17)相接,当使该排气小车边在炉内移动、边排气处理时,检出多只屏板排气不好的场合,各屏板的上述开关阀全关闭后,依次开关各屏板的开关阀,测定各屏板的真空度,测定的真空度在容许范围之外的定为不合格的屏板。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 小车 连续 处理 不合格 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于排气小车式连续排气处理中不合格屏板的检测方法，其特在于：至少在搭载排气装置的排气小车上保持多只屏板，各屏板的顶管与排气小车的排气头相接，并且，通过排气集管，使上述排气头和排气装置由分别具有开关阀的排气管相接，使该排气小车在炉内移动、边进行排气处理；其特征在于，在检测到上述多只屏板排气不良的场合，将各屏板的所述开关阀全关闭，然后，顺次开关各屏板的开关阀，测定各屏板的真空度，将测得的其真空度在容许范围以外的屏板定为不合格屏板。
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