[发明专利]铟锡氧化物溅射靶无效
| 申请号： | 02119004.6 | 申请日： | 2002-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN1385553A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | 内海健太郎;黑泽聪;星野浩邦 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供伴随靶的累计使用时间的增加,腐蚀部分发生结块引起的颗粒和堆积在非腐蚀部分的黄色粉末引起的颗粒的发生量降低的ITO靶。在实质上由铟,锡和氧构成的ITO溅射靶中,使非腐蚀部分的厚度比腐蚀部分的厚度薄,使腐蚀部分突出同时使包含腐蚀部分的平面与包含非腐蚀部分的平面用钝角斜面连接的形状,使上述腐蚀部分的表面粗糙度(Ra)在0.1微米以下,使非腐蚀部分和连接腐蚀部分与非腐蚀部分斜面的表面粗糙度Ra在1.0微米以上。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种ITO溅射靶，其特征在于：实质上由铟，锡和氧构成的ITO溅射靶中，使非腐蚀部分的厚度比腐蚀部分的厚度薄，使腐蚀部分突出并使包含上述腐蚀部分的平面与包含上述非腐蚀部分的平面用钝角斜面连接的形状，使上述突出的腐蚀部分的表面粗糙度(Ra)在0.1微米以下，使非腐蚀部分和连接腐蚀部分与非腐蚀部分的斜面的表面粗糙度(Ra)在1.0微米以上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东曹株式会社，未经东曹株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02119004.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：加热设备用的散热装置
- 下一篇：在电视上显示互联网内容的方法与装置
- 同类专利
- 专利分类
