[发明专利]抗反射涂层组合物无效
| 申请号： | 02119355.X | 申请日： | 2002-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1385757A | 公开（公告）日： | 2002-12-18 |
| 发明（设计）人： | E·K·帕韦尔切克;P·特雷福纳斯三世 | 申请（专利权）人： | 希普利公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊,彭益群 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了含有离子热酸生成剂材料的抗反射组合物。使用这种热酸生成剂材料可明显增加质子介质中的抗反射组合物溶液的贮存期限。可在用于曝光外涂光致抗蚀剂层的各种波长,包括248nm和193nm处有效地利用本发明的抗反射组合物。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 涂层 组合 | ||
【主权项】：
1、一种涂覆的基底，包括：一层含有离子热酸生成剂和树脂的抗反射组合物层；以及在所述抗反射组合物层之上的一层光致抗蚀剂层。
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