[发明专利]薄膜滤波器无效
| 申请号： | 02119606.0 | 申请日： | 2002-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN1432827A | 公开（公告）日： | 2003-07-30 |
| 发明（设计）人： | 吕昌岳;陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02F1/225;H04J14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种应用于密集波分复用的薄膜滤波器包括一基底(11)和一薄膜堆栈(12)。该薄膜堆栈包括多个腔(13)，每一腔均包括第一组膜层(21)、第二组膜层(22)及一位于第一组膜层(21)与第二组膜层(22)之间的间隔层(23)，每一组膜层均包括多个高折射率薄膜(31)及低折射率薄膜(32)，其相互交替沉积，高折射率薄膜的材料为氧化铟锡。该薄膜滤波器以制造160层薄膜为佳，其可达到甚至超过常规180层薄膜的密集波分复用滤波器的光学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 滤波器 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜滤波器，其包括一玻璃基底和一薄膜堆栈，该薄膜堆栈设置于玻璃基底，其包括低折射率薄膜及高折射率薄膜，其特征在于每一高折射率薄膜是由氧化铟锡构成。
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