[发明专利]防止静电破坏的光罩

摘要

本发明是一种防止静电破坏的光罩，首先在光罩的铬金属接近边缘处形成一环形图案，其中该环形图案具内封环，与彼此相隔等距且与内封环成平行排列的复数个分离外封环。而，内、外封环间具有复数个微细小针，每一微细小针的一端分别和内、外封环的其中的一连接，另一端则和对应的内、外封环保留一空隙。其中上述的每个分离外封环仅连接一根微细小针。

主权项

1.一种具防止静电破坏的光罩，至少包含：一光罩基座，以透光物质组成；一不透光导电薄膜，形成于该光罩基座的上；复数个断续封环图案，具相等断续长度并等距分隔，环绕于该不透光导电薄膜周边；一封环图案，以平行于该复数个断续封环图案的方式，排列于该复数个断续封环图案内侧；以及复数个针形图案，位于该封环图案与该复数个断续封环图案之间，且该复数个针形图案的一端以间隔的方式分别与该封环图案与该复数个断续封环图案衔接，另一端则保留一等距空隙。