[发明专利]罩幕式只读存储器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 02119729.6 申请日: 2002-05-14
公开(公告)号: CN1459865A 公开(公告)日: 2003-12-03
发明(设计)人: 许荣显;曾健庭;周宏昕;陈世雄 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/112 分类号: H01L27/112;H01L21/8246;G11C17/08
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 黄志华
地址: 台湾省新竹科*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明的罩幕式只读存储器包括:彼此互相平行的第一埋入式N型掺杂层和第二埋入式N型掺杂层、分别与其相对应的第一接触窗和第二接触窗、以及与其垂直的闸极;其中第一埋入式N型掺杂层的第一端延伸至周边电路区,且第一接触窗配置于此;第二埋入式N型掺杂层的第二端亦延伸至周边电路区,且第二接触窗配置于此;第一埋入式N型掺杂层的第一端与第二埋入式N型掺杂层的第一端同侧,且第一埋入式N型掺杂层的第二端与第二埋入式N型掺杂层的第二端同侧。
搜索关键词: 罩幕式 只读存储器 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种罩幕式只读存储器,可分为一记忆胞区和一周边电路区,至少包括:一第一埋入式N型掺杂层,位于该记忆胞区,且具有一第一端和一第二端,该第一埋入式N型掺杂层的该第一端延伸至该周边电路区;一第二埋入式N型掺杂层,位于该记忆胞区,且具有与该第一埋入式N型掺杂层的该第一端同一侧的一第一端,以及具有与该第一埋入式N型掺杂层的该第二端同一侧的一第二端,该第二埋入式N型掺杂层的该第二端延伸至该周边电路区,其中该第一埋入式N型掺杂层和该第二埋入式N型掺杂层互相平行;一第一接触窗,位于该第一埋入式N型掺杂层的该第一端;一第二接触窗,位于该第二埋入式N型掺杂层的该第二端;以及一闸极,与该第一和该第二埋入式N型掺杂层垂直。
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