[发明专利]主载体的清洁方法无效
| 申请号： | 02120105.6 | 申请日： | 2002-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1387183A | 公开（公告）日： | 2002-12-25 |
| 发明（设计）人： | 西川正一;镰谷彰人 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G11B5/86 | 分类号： | G11B5/86;G11B23/50 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种主载体的清洁方法,将进行磁转录或光盘成型之前的磁转录用或光盘用主载体(2)收存在减压容器(3)中,利用减压器件(4)使容器(3)内减压,通过气体导入器件(6)将反应性气体导入容器(3)内,在此状态下,通过放电器件(5)使电极(52)和主载体(2)之间产生等离子体放电,利用等离子体蚀刻燃烧除去主载体(2)表面上的附着物。由此以干式处理和非接触方式不会再次附着地除去主载体上的附着物,从而进行转录质量高的磁转录。 | ||
| 搜索关键词： | 载体 清洁 方法 | ||
【主权项】：
1、一种主载体的清洁方法，是磁转录用主载体或光盘用主载体的清洁方法，其特征在于，利用减压反应性气体环境下的等离子体放电，燃烧除去所述主载体表面的附着物。
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