[发明专利]显影液供给装置无效
| 申请号： | 02120200.1 | 申请日： | 2002-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1441321A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 板东嘉文;柴田崇弘 | 申请（专利权）人： | 三菱化学工程株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏,郑建晖 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供显影液的供给装置，能够高精度地检测出从液晶基板或印刷基板的显影处理回收的显影液的碱浓度及溶解树脂浓度，能够向显影处理供给更加正确的浓度已被调节的显影液。显影液的供给装置具有：贮留了所应供给的显影液的供给贮槽(1)、将使用后的显影液向供给贮槽(1)输送的回收液供给机构(2)、将新的显影液原液向供给贮槽输送的原液供给机构(3)、将一定温度的使用后的显影液的碱浓度及树脂浓度根据超音波传播速度和电磁导电率检测出的特定的浓度计(5)。而且，根据浓度计(5)测定浓度，能够控制由原液供给机构(3)进行的的显影液原液的输送。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 供给 装置 | ||
【主权项】：
1.显影液供给装置，将碱的水溶液形成的显影液向显影处理供给，其特征是：具有贮留所应供给的显影液的供给贮槽、具有将回收的使用后的显影液的温度进行一定调节的温度调节装置并将使用后的显影液向上述供给贮槽输送的回收液供给机构、将新的显影液原液向上述供给贮槽输送的原液供给机构、检测出由上述回收液供给机构送来的一定温度的使用后的显影液的碱浓度及树脂浓度的浓度计，上述浓度计，是根据对显影液的超音波传播速度及显影液的电磁导电率进行计量，预先做成的指定温度及指定浓度下的超音波传播速度和电磁导电率的关系，检测出碱浓度及树脂浓度的多成分浓度计，而且，根据上述浓度计检测出的浓度，能够通过上述原液供给机构控制显影液原液的输送。
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