[发明专利]反射式液晶显示器的形成方法及其接合垫的排列结构无效
申请号: | 02120252.4 | 申请日: | 2002-05-17 |
公开(公告)号: | CN1459655A | 公开(公告)日: | 2003-12-03 |
发明(设计)人: | 徐宏辉;林文坚 | 申请(专利权)人: | 元太科技工业股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李强 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种反射式液晶显示器的形成方法及其接合垫的排列结构,其在为反射式液晶显示器制作薄膜晶体管构造时,直接在第一或第二金属层上形成铟锡氧化物,使得为扫描垫或资料垫蚀刻接触窗后即可直接获得接合垫,因而减少一道形成接合垫的铟锡氧化物光罩,简化了制程。 | ||
搜索关键词: | 反射 液晶显示器 形成 方法 及其 接合 排列 结构 | ||
【主权项】:
1.一种反射式液晶显示器的形成方法,其特征在于:该方法形成反射式液晶显示器的薄膜晶体管阵列同时形成接合垫,包括有如下步骤:形成第一金属层;形成铟锡氧化物在该第一金属层上;以该第一金属层制作闸极、扫描垫及资料垫;制作薄膜晶体管构造;形成第二金属层;以该第二金属层制作源/汲极及资料线;及形成导电层连接该资料垫及资料线。
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