[发明专利]液晶显示装置的有源阵列基板及其制造方法

摘要

一种液晶显示装置的有源阵列基板的制造方法，利用五道掩膜来完成。第一道掩膜在透明基板上形成数据线。第二道掩膜在覆盖一层低介电常数绝缘层后，用于其中形成暴露出数据线表面的接触孔开口。第三道掩膜在低介电常数绝缘层上形成像素电极，以及连接源极与数据线的导线。第四道掩膜用于定义在像素电极和导线上的金属层/绝缘层/半导体层/n型掺杂层，以形成栅极线和薄膜晶体管。第五道掩膜用于定义保护层。

主权项

1.一种液晶显示装置的有源阵列基板，包括：一透明基板；多条平行于一第一方向的数据线配置于该透明基板上，且部分突出延伸覆盖多个有源元件区；一低介电常数绝缘层覆盖该些数据线和该透明基板，该低介电常数绝缘层中具有多个接触孔开口暴露出该些数据线突出处的表面；多条垂直于该第一方向的栅极线配置于该低介电常数绝缘层上，且部分突出延伸至该些有源元件区，该些栅极线和该些数据线所围绕的多个区域可分为该些有源元件区和多个像素区；一栅极绝缘层位于该些栅极线下，且与该些栅极线接触，该栅极绝缘层与该些栅极线的图案相同；一半导体层位于该栅极绝缘层和该低介电常数绝缘层之间，且与该些栅极线的图案相同；多个源极和多个漏极位于该半导体层和该低介电常数绝缘层之间，该些源极和该些漏极之间为沟道区；多个像素电极配置于该些像素区的该低介电常数绝缘层上，且与该些漏极连接；多个导线经由该低介电常数绝缘层的该些接触孔开口连接该些数据线与该些源极；以及一保护层位于该些栅极线和该些导线上。