[发明专利]一种产品表面多参数非接触离焦检测的光纤传感器

摘要

一种产品表面多参数非接触离焦检测的光纤传感器，该传感器主要由激光光源，Y型光纤耦合器，由光纤传光束和显微物镜组成的传感器探头，参考光纤、接收光纤阵列和光电接收器组成，光纤传光束由九根光纤组成，九根光纤以十字交叉等间隔对称分布的形式构成一个“轮辐式”二维阵列；Y型光纤耦合器的公共端与中心光纤相连，作为发射和接收光的共同通道，其它八根接收光纤及参考光纤通过接收光纤阵列与光电接收器相连，通过特殊的信号提取，可分别获得不受光源波动和被测面反射率变化影响的粗糙度、尺寸、形状等信息，实现产品多参数非接触无损检测。具有结构简单、体积小、测量精度高等优点。

主权项

1.一种产品表面多参数非接触离焦检测的光纤传感器，主要包括光源(11)，光纤传光束(22)和显微物镜(23)组成的传感器探头(15)，光电接收器(18)，其特征在于：所述的光纤传光束由九根光纤组成，所述的显微物镜采用光纤自聚焦透镜，以一定的距离固结在光纤传光束的下端面，在光源与传感器探头(15)之间装有Y型光纤耦合器(13)，Y型光纤耦合器的入射端(20)与光源相连，其公共端(14)与光纤传光束的中心光纤相连，其出射端以及光纤传光束中的其它八根接收光纤通过接收光纤阵列(17)与光电接收器(18)相连；在所述的光源与Y型光纤耦合器之间装有一个1×2光纤分束器(12)，其一端与Y型光纤耦合器的入射端相连，另一端通过参考光纤(19)与接收光纤阵列(17)相连。