[发明专利]制备大面积高温超导厚膜的方法和专用设备无效
| 申请号： | 02121348.8 | 申请日： | 2002-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN1464570A | 公开（公告）日： | 2003-12-31 |
| 发明（设计）人： | 朱亚彬;周岳亮;王淑芳;陈正豪;吕惠宾;杨国桢 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;H01B12/00;C04B35/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤华 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及到高温超导膜的制备方法和专用设备。该设备包括：抽气系统、在真空室内安有靶，加热器和通气口、控温及测温仪，还有气体源；还包括一凹面镜、凸透镜和光源；其中光源放在一凹面镜、凸透镜之间，并处在凹面镜的焦点上；凸透镜的焦点在靶面上；光源和凹面镜放在凸透镜的2倍焦距之外组成的聚焦系统，其安装在真空室外。该方法采用靶加热器加热靶，当靶的温度高于靶材的升华点，靶材被蒸发，还包括采用大功率激光器或者卤素灯做光源，光源输出光经过凹面镜和凸透镜组成的聚焦系统，把光束聚焦在靶面上，使得靶表面的温度易于达到靶材的升华点。采用该方法制备的厚膜超导性能优良、质地均匀、致密、适合工业化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 大面积 高温 超导 方法 专用设备 | ||
【主权项】：
1.一种制备大面积高温超导厚膜的专用设备，包括：真空抽气系统、在真空室内安装有靶，加热器和通气口、控温仪及红外测温仪，还有活性或保护气体源；其特征在于：还包括聚焦系统，该聚焦系统包括一凹面镜、凸透镜和光源；其中光源放在一凹面镜、凸透镜之间，并处在凹面镜的焦点上；凸透镜的焦点在靶面上；光源和凹面镜放在凸透镜的2倍焦距之外，该聚焦系统安装在真空室外；光束通过真空室的观察窗入射到真空室内的靶面上。
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