[发明专利]使印刷电路板表面曝光的装置无效
| 申请号： | 02121797.1 | 申请日： | 2002-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1391137A | 公开（公告）日： | 2003-01-15 |
| 发明（设计）人： | 吉勒斯·维贝;阿兰·索雷尔 | 申请（专利权）人： | 奥托马泰克 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王敬波 |
| 地址： | 法国瓦*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种使印刷电路板(20)的至少一面(18)曝光的装置，该装置包括一光学系统，具有至少一个光源和对光束进行处理以在表面(18)上产生均匀和准直光带(26)的装置，所述光带(26)的长度(L26)不小于所述表面(18)的宽度(l18)；位移装置，用于在所述光带(26)和所述表面(18)之间沿着基本横切于所述光带(26)的长度方向(XIXI’)的所述面(18)的长度方向(YIYI’)产生相对位移；和匹配装置，用于使所述光带(26)和所述待曝光表面(18)之间的相对位移速度与光带(26)的照度和待曝光表面(18)的感光度相匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 印刷 电路板 表面 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种使板(120)，尤其是印刷电路板的至少一面(118)曝光的装置，该装置包括：用于在一框架上固定至少一个布线图和所述板(120)的装置；一光学系统，包括发射光束(I)的光源(112)，用于处理所述光束(I)以产生均匀和准直光束(III)的处理装置，该均匀和准直光束相对于待曝光表面(118)具有小于2°的平均入射角，且具有偏离平均值小于±10％的均匀照度，还包括成形装置，能将所述均匀和准直光束(III)变换成在待曝光板(120)表面(118)上的均匀和准直光带(126)并包括所述布线图，所述均匀和准直光带(126)的长度(L126)不小于所述待曝光表面(118)的其中一侧的长度(l118)，所述用于处理光束(I)的装置包括一反射器(116)和一积分器准直仪组件(151)；位移装置(121)，用于在所述光带(126)和所述待曝光表面(118)之间，沿基本横切于所述光带(126)的长度方向(XIIXII’)的方向(YIIYII’)产生相对位移；以及匹配装置，用于使所述光带(126)和所述待曝光表面(118)之间的相对位移速度与光带(126)的照度和待曝光表面(118)的感光度相匹配。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥托马泰克，未经奥托马泰克许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02121797.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电路布置
- 下一篇：具有2端口数据极性翻转器的液晶显示器及其驱动方法
