[发明专利]碳纳米管式集成场效应管及其制备工艺

摘要

本发明涉及一种使用碳纳米管能够实现场效应管的集成及其制备工艺；该集成场效应管是在绝缘层上制作相间的栅极和电极，将一根超长碳纳米管放置于其上；在一些栅极上通一定值恒压，使超长碳纳米管部分截止；其效果等效为若干个碳纳米管场效应管，实现了碳纳米管场效应管集成；其制备工艺是将碳纳米管放置在绝缘层的栅极和电极上，制成集成场效应管；本发明的结构简单、易于制作和集成。

主权项

1、一种碳纳米管式集成场效应管，包括衬底(5)和绝缘层(4)，在衬底(5)上设绝缘层(4)；其特征在于在绝缘层(4)上相间排列栅极(2)和电极(3)，一超长碳纳米管(1)与栅极(2)和电极(3)接触，在一栅极(2)的邻近两侧栅极(2)上与一恒压相连，使该通恒压的栅极(2)控制的碳纳米管截止，位于两个截止栅极之间的一个栅极(2)和两个电极(3)及碳纳米管(1)形成集成的独立场效应管。